電子凈化車間的裝修材料必須滿足潔凈、耐磨、防靜電等特殊要求。墻面和天花板通常采用彩鋼板或玻鎂板，這類材料具有表面光滑、不易積塵、防火性能好等特點(diǎn)。地面材料則多選用PVC地板或環(huán)氧自流平，其中PVC地板防靜電性能優(yōu)異，適用于對(duì)靜電敏感的電子生產(chǎn)環(huán)境；環(huán)氧自流平則以其無縫、耐磨、易清潔的特性成為許多車間的首選。
門窗設(shè)計(jì)也需特別注意。潔凈門應(yīng)采用不銹鋼框架搭配鋼化玻璃，確保氣密性和耐用性；觀察窗則需采用雙層玻璃，中間填充干燥空氣，避免結(jié)露。此外，所有接縫處需使用硅膠密封，防止灰塵積聚。
空調(diào)系統(tǒng)是凈化車間的核心設(shè)備。高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA）是保證空氣潔凈度的關(guān)鍵，其過濾效率需達(dá)到99.97%（對(duì)0.3μm顆粒）以上。風(fēng)管材料應(yīng)選用鍍鋅鋼板或不銹鋼，內(nèi)壁需光滑無死角，減少積塵風(fēng)險(xiǎn)。
