無塵室的地面材料需具備防滑、防靜電、耐腐蝕等特性。常見的地面材料有環氧樹脂地板和抗靜電瓷磚，這些材料不僅易于清潔，還能有效防止靜電的產生和積聚，對保護電子設備和敏感元件至關重要。
墻面材料的選擇同樣重要。無塵室的墻面應采用抗菌、易清潔的材料，如不銹鋼板或PVC板。這些材料表面光滑，不易積塵，且易于消毒處理，有助于維持車間的潔凈度。
頂棚材料的選擇需考慮防火、防水、保溫等特性。鋁合金板或石膏板等材料因其良好的物理性能和易于施工的特點，常被用作無塵室的頂棚材料。
空氣凈化系統的設置是無塵室裝修的關鍵。高效空氣過濾器、風機、空調等設備的合理配置，以及送回風管道的精心布局，都是確保空氣潔凈度和濕度的關鍵。此外，定期維護和更換空氣過濾器，保持其良好的過濾性能，也是維持無塵室潔凈度的必要條件。
照明系統的設置同樣不容忽視。無塵室的照明應具有高亮度、低眩光等特性，以確保工作人員能夠清晰地看到操作對象。LED燈具或熒光燈具因其節能、環保、壽命長的特點，常被用作無塵室的照明設備。
